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什么叫四羥基氫氧化銨
什么叫四羥基氫氧化銨?四羥基氫氧化銨又被稱為氫氧化四羥基銨,英文簡寫為TMAH,化學式為(CH3)4NOH。?沒有顏色全透明含有氨異味,很強的有機堿,PH>13,在135~150℃時徹i底溶解汽化形成三甲胺、乙醇和甲醚。非常容易與空氣中的二氧化碳反映。
TMAH的主要用途
1、做為集成電路(IC)領域、液晶顯示屏領域(TFT-LCD)、光電材料(LED)領域的顯影液。TMAH是一種有機堿,一方面它和無機堿一樣具備強偏堿,另一方面它具備其與眾不同的特點,即在應用全過程中不容易留有金屬離子,加溫后能夠轉化成三甲胺汽體和乙醇汽體且沒留一切印痕,可廣泛運用于當代電子產業。顯影液的主要成分是堿,原先應用的堿是無機堿KOH,伴隨著高新科技的發展,集成電路的設計方案生產制造需考慮各種各樣繁雜的加工工藝標準,對化工品殘渣規定愈來愈嚴苛。以前用的顯影液是KOH等無機堿,顯影液后必須用很多的水開展清洗基鋼板,還不可以確保K+可以完全清洗整潔。金屬離子的過多殘余就不能滿足一些嚴苛的加工工藝標準,如單獨生產制造模塊中電子元件的總數愈來愈多,圖形界限愈來愈窄,變成牽制電子產業發展趨勢的一個不可忽視的短板,而TMAH恰好擺脫了KOH的缺陷,無金屬離子,高溫溶解沒有殘留。
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